工藝氣體專用過濾器_高純UHP超純氣流微粒直通一體式過濾器
TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。
其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。
W型一體式過濾器特點(diǎn)：
.全焊接結(jié)構(gòu)，杜絕泄露過濾面積大，流量系數(shù)高，
.逆流時(shí)，可完成沖洗過程
.閥體和過濾元件全滲透焊接
.過濾元件公稱孔尺寸:0.5、2、7、15、40um
.工作壓力可達(dá):414bar(6000psig)
.工作溫度:-28~+482°℃
產(chǎn)品參數(shù)
| 濾芯材質(zhì) | 316L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體材質(zhì) | 316L不銹鋼 | ||
| 氦氣驗(yàn)證泄漏率 | 2×10-10cc/min | 氦氣測試泄露率 | 1×10-10cc/min | ||
| 表面處理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用溫度 | 惰性氣體 | 400-500°C |
| 內(nèi)表面 | Ra < 0.2μm | 腐蝕性氣體，反應(yīng)氣體 | 50C | ||
| 顆粒攔截效率 | z99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游潔凈度 | s0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
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| 顆粒攔截粒徑 | ≧0.003μm | ||||
過濾面積
| 過濾器類型 | 過濾面積規(guī)格 | 過濾面積mm2 | |
| 燒結(jié)式 | 濾網(wǎng)式 | ||
| W型一體式 | / | / | 254 |
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