1. 設(shè)備介紹?

高純氣體管道系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、LED、電子化工等行業(yè)，負(fù)責(zé)輸送氮?dú)?、氧氣、氬氣、氫氣等高?/ 超高純氣體，管道系統(tǒng)需具備極低的泄漏率和雜質(zhì)析出率，確保氣體在輸送過(guò)程中純度不衰減。?

2. 為何需要使用過(guò)濾器?

高純氣體在生產(chǎn)、儲(chǔ)存、輸送過(guò)程中，易受氣瓶?jī)?nèi)壁雜質(zhì)、管道焊接氧化層、閥門(mén)密封件析出物等污染，即使微量雜質(zhì)也會(huì)影響下游產(chǎn)品質(zhì)量(如光伏電池轉(zhuǎn)換效率、電子元件可靠性)，過(guò)濾器是維持氣體純度的關(guān)鍵設(shè)備。?

3. 過(guò)濾器介紹?

恒歌 HF 系列高純氣體管道專用過(guò)濾器，專為高純氣體輸送系統(tǒng)設(shè)計(jì)，采用電解拋光 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，內(nèi)壁粗糙度 Ra≤0.2μm，有效減少雜質(zhì)吸附，50Mpa 高壓設(shè)計(jì)適配各類高純氣體輸送壓力，可高效濾除氣體中的微粒、油霧、水分及有機(jī)雜質(zhì)。?

4. 產(chǎn)品特點(diǎn)?

316L 不銹鋼電解拋光處理，內(nèi)壁光滑無(wú)吸附，保障氣體純度?

輕量化設(shè)計(jì)，安裝空間小，螺紋 / 法蘭連接可選，密封性能優(yōu)異?

耐高壓 50Mpa、耐高溫 180℃，適配多類型高純氣體(惰性 / 活性氣體)?

濾芯采用疏水 / 疏油材質(zhì)，過(guò)濾效率高，不易結(jié)露堵塞?

100% 出廠完整性測(cè)試，泄漏率≤1×10?? Pa?m3/s?

維護(hù)簡(jiǎn)便，濾芯可單獨(dú)更換，降低使用成本?

5. 產(chǎn)品應(yīng)用?

適用于半導(dǎo)體高純氣體輸送管道、光伏行業(yè)高純氬氣 / 氫氣管道、LED 制造高純氮?dú)夤艿?、電子化工超高純?cè)噭┡涮讱怏w管道系統(tǒng)。?

6. 常見(jiàn)問(wèn)答?

Q1：過(guò)濾器對(duì)氣體流量有影響嗎??

A1：采用低流阻設(shè)計(jì)，濾芯通量大，在額定流量范圍內(nèi)壓力損失≤0.05Mpa，不影響管道系統(tǒng)正常供氣。?

Q2：能否用于超高純氮?dú)?99.9999%)系統(tǒng)??

A2：完全適用，過(guò)濾器可濾除氮?dú)庵袣埩舻奈⒘克趾臀⒘?，進(jìn)一步提升氣體純度至 99.99995% 以上。?

Q3：與普通過(guò)濾器的區(qū)別是什么??

A3：針對(duì)高純氣體設(shè)計(jì)，無(wú)非金屬析出物，密封件采用全氟材質(zhì)，避免污染氣體，且通過(guò) SEMI F20 高純標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。?

7. 選型引導(dǎo)?

不同高純氣體的化學(xué)性質(zhì)、管道壓力、流量需求差異較大，如需匹配精準(zhǔn)過(guò)濾方案，歡迎聯(lián)系恒歌獲取專業(yè)選型支持!