在半導(dǎo)體制造的離子注入、高壓沉積等工藝環(huán)節(jié)，工藝氣體需在高壓狀態(tài)下輸送，這對(duì)過(guò)濾設(shè)備的耐壓性能與密封可靠性提出了極高要求。若過(guò)濾器耐壓不足，可能出現(xiàn)殼體破裂;若密封失效，則會(huì)導(dǎo)致高壓氣體泄露，不僅影響生產(chǎn)，還可能引發(fā)安全事故。深圳恒歌研發(fā)的高壓雙卡套過(guò)濾器直通過(guò)濾閥(屬于TF系列工藝氣體專用過(guò)濾器)，以“超強(qiáng)耐壓”與“雙重密封”為核心設(shè)計(jì)，專為半導(dǎo)體高壓氣體工藝打造，有效解決企業(yè)在高壓氣體過(guò)濾中面臨的安全與穩(wěn)定難題。

高壓雙卡套過(guò)濾器直通過(guò)濾閥的最大優(yōu)勢(shì)，在于其卓越的耐壓性能。根據(jù)型號(hào)不同(如 T 型過(guò)濾器、W 型一體式過(guò)濾器)，該設(shè)備的工作壓力可達(dá) 414bar (6000psig)，遠(yuǎn)超普通過(guò)濾器的耐壓上限，完全能適配半導(dǎo)體高壓氣體工藝的需求。其耐壓能力源于兩大設(shè)計(jì)：一是整體采用 316L 不銹鋼材質(zhì)，這種材質(zhì)本身具備高強(qiáng)度特性，能承受高壓環(huán)境下的殼體應(yīng)力，不會(huì)出現(xiàn)變形或破裂;二是優(yōu)化的閥體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，通過(guò)計(jì)算機(jī)模擬高壓狀態(tài)下的應(yīng)力分布，對(duì)閥體薄弱部位進(jìn)行強(qiáng)化處理，確保設(shè)備在 414bar 的高壓下仍能保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。這一特性讓企業(yè)無(wú)需擔(dān)憂高壓氣體對(duì)過(guò)濾器的損壞，可安心將其應(yīng)用于離子注入等關(guān)鍵高壓工藝環(huán)節(jié)。

?

雙卡套密封設(shè)計(jì)是該設(shè)備保障高壓氣體無(wú)泄露的關(guān)鍵。相較于普通單卡套密封，雙卡套設(shè)計(jì)通過(guò) “前卡套” 與 “后卡套” 的雙重貼合，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣路管道的緊密包裹 —— 前卡套負(fù)責(zé)與管道形成第一道密封，后卡套則通過(guò)擠壓進(jìn)一步強(qiáng)化密封效果，即便在高壓氣體沖擊下，也能有效阻止氣體滲透。這種密封方式無(wú)需焊接，安裝時(shí)僅需通過(guò)螺母緊固雙卡套，即可完成密封，既避免了焊接泄露的風(fēng)險(xiǎn)，又能在長(zhǎng)期高壓使用中保持密封性能穩(wěn)定。對(duì)于半導(dǎo)體企業(yè)而言，這種雙重密封設(shè)計(jì)意味著更高的生產(chǎn)安全性，能徹底杜絕因高壓氣體泄露引發(fā)的火災(zāi)、爆炸等安全隱患，保障車間人員與設(shè)備安全。

在過(guò)濾與氣流穩(wěn)定性上，高壓雙卡套過(guò)濾器直通過(guò)濾閥同樣表現(xiàn)出色。它具備超高顆粒攔截率，能精準(zhǔn)清除 UHP 超純氣流中的微粒雜質(zhì)，避免因雜質(zhì)在高壓狀態(tài)下加速撞擊芯片，導(dǎo)致電路損壞。同時(shí)，其直通式流道設(shè)計(jì)大幅降低了壓力損耗 —— 在高壓氣體輸送過(guò)程中，壓力損耗過(guò)大會(huì)導(dǎo)致氣體流速不穩(wěn)定，影響工藝參數(shù)精度，而該設(shè)備通過(guò)優(yōu)化流道曲率與內(nèi)部結(jié)構(gòu)，將壓力損耗控制在極低水平，確保高壓氣體以穩(wěn)定的流速通過(guò)過(guò)濾器，為生產(chǎn)工藝提供穩(wěn)定的氣體供應(yīng)。

此外，該設(shè)備還具備出色的環(huán)境適應(yīng)性與便捷的維護(hù)特性。它能在 – 28~+482℃的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定工作，適配半導(dǎo)體生產(chǎn)中的高溫工藝環(huán)境;同時(shí)耐腐蝕性強(qiáng)，可處理多種腐蝕性高壓工藝氣體，不會(huì)因氣體腐蝕出現(xiàn)性能下降。在維護(hù)方面，部分型號(hào)(如 T 型過(guò)濾器)可選配底部旁通道，可用于氣體取樣與過(guò)濾器清洗 —— 無(wú)需拆卸設(shè)備，即可通過(guò)旁通道完成取樣檢測(cè)與沖洗維護(hù)，大幅減少停機(jī)時(shí)間，降低維護(hù)成本。每一臺(tái)設(shè)備出廠前還經(jīng)過(guò) 100% 完整性測(cè)試與 100% 氨氣檢漏測(cè)試，確保在高壓狀態(tài)下的密封性能與過(guò)濾性能達(dá)標(biāo)，讓企業(yè)使用更放心。

對(duì)于依賴高壓氣體工藝的半導(dǎo)體企業(yè)來(lái)說(shuō)，高壓雙卡套過(guò)濾器直通過(guò)濾閥不僅是一款過(guò)濾設(shè)備，更是保障高壓工藝安全、穩(wěn)定運(yùn)行的核心組件。它以超強(qiáng)的耐壓性能、可靠的雙重密封、高效的過(guò)濾效果，解決企業(yè)在高壓氣體過(guò)濾中的安全隱患與穩(wěn)定難題，助力半導(dǎo)體高壓工藝環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)高效、安全生產(chǎn)。