在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，電子氣體如同維系生產(chǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)的 “命脈”，廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、氣相沉積等關(guān)鍵制程環(huán)節(jié)。而純度，正是決定電子氣體能否滿足生產(chǎn)需求的核心指標(biāo) —— 一旦氣體中混入雜質(zhì)與顆粒物，將直接影響晶圓及電子元器件的質(zhì)量、性能、集成度與技術(shù)指標(biāo)，更會大幅拉低產(chǎn)品成品率，給企業(yè)造成難以估量的經(jīng)濟(jì)損失。?

1、電子氣體中的雜質(zhì)隱患，亟待精準(zhǔn)解決?

半導(dǎo)體制程中，電子氣體面臨的雜質(zhì)威脅多樣且復(fù)雜，主要包括：?

水分：易與制程材料發(fā)生反應(yīng)，影響元器件性能穩(wěn)定性;?

雜質(zhì)氣體：如氧氣(O?)、氮?dú)?N?)及各類惰性氣體，會干擾反應(yīng)過程，降低產(chǎn)品精度;?

金屬雜質(zhì)：像鐵(Fe)、鎳(Ni)、鉬(Mo)等金屬離子，若附著在晶圓表面，可能導(dǎo)致電路短路或功能失效;?

有機(jī)污染物：例如甲烷(CH?)、非甲烷總烴(NMHC)等，會在制程中形成殘留，影響產(chǎn)品潔凈度;?

酸堿物質(zhì)：如二氧化硫(SO?)、氯化氫(HCl)、氨氣(NH?)等，具有腐蝕性，可能損壞設(shè)備與晶圓;?

特定化合物：如六甲基二硅氧烷(HMDSO)、四甲基硅烷(TMS)等，會干擾薄膜沉積等關(guān)鍵工藝。?

隨著半導(dǎo)體芯片制程不斷向更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)突破，對電子氣體的潔凈度要求愈發(fā)嚴(yán)苛。唯有精準(zhǔn)去除氣體中的各類雜質(zhì)，才能確保晶圓不受污染，穩(wěn)定保障產(chǎn)品良品率。這一過程中，不僅要應(yīng)對部分氣體劇毒、腐蝕性強(qiáng)、易自燃的特性，還需結(jié)合氣體在不同工藝場景的應(yīng)用需求，匹配專屬過濾方案 —— 恒歌氣體過濾器，正是基于這一需求，為半導(dǎo)體行業(yè)提供專業(yè)解決方案的核心力量。?

2、恒歌核心技術(shù)：高精密過濾與低阻創(chuàng)新雙突破?

針對半導(dǎo)體行業(yè)對氣體純度的超高要求，恒歌憑借多年技術(shù)積淀，研發(fā)出多款高性能氣體過濾產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)兩大關(guān)鍵突破：?

超高過濾精度：恒歌氣體過濾器可達(dá)到3nm 的極致過濾精度，能有效攔截氣體中的超細(xì)微顆粒與微量雜質(zhì)，將電子特氣純度提升至9N 級別(99.9999999%)，輕松應(yīng)對不同電子特氣在先進(jìn)制程中的過濾需求;?

超低壓阻技術(shù)：依托深厚的金屬膜燒結(jié)技術(shù)積累，恒歌通過全新燒結(jié)工藝創(chuàng)新，將金屬燒結(jié)類過濾產(chǎn)品的壓阻降至市場同類產(chǎn)品的1/2~1/3.在保證過濾效率的同時(shí)，顯著降低氣體流通阻力，延長產(chǎn)品使用壽命，為企業(yè)降低運(yùn)維成本。?

3、場景化解決方案，覆蓋半導(dǎo)體全制程?

恒歌深知半導(dǎo)體不同制程對氣體流量、溫度、壓力的需求差異，針對性推出多系列適配產(chǎn)品，為各環(huán)節(jié)氣體凈化保駕護(hù)航：?

高溫高壓場景：面對高溫、動(dòng)態(tài)高壓的嚴(yán)苛應(yīng)用環(huán)境，恒歌高溫超純氣體過濾器憑借優(yōu)異的耐高溫、耐高壓性能，成為該場景下的理想選擇，確保氣體在極端條件下仍保持高純度;?

大流量需求BF系列超純氣體過濾器專為大流量制程設(shè)計(jì)，可滿足高產(chǎn)能生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)需求，保障氣體穩(wěn)定輸送且無雜質(zhì)泄漏;?

中流量場景：超純氣體過濾器兼顧過濾精度與流量效率，適配多數(shù)半導(dǎo)體常規(guī)制程，為生產(chǎn)提供可靠的氣體凈化支持;?

中小流量需求：小巧靈活超純氣體過濾器，適合對空間與流量要求更精細(xì)的場景，如實(shí)驗(yàn)室研發(fā)或小批量精密制造，實(shí)現(xiàn) “小而精” 的過濾效果。?

4、布局新趨勢：拓展氣體處理全鏈條能力?

在半導(dǎo)體氣體處理需求不斷升級的趨勢下，恒歌不止步于過濾環(huán)節(jié)，更拓展至氣體擴(kuò)散、限流、純化等全鏈條領(lǐng)域，打造一體化解決方案：?

氣體擴(kuò)散器：恒歌DF系列擴(kuò)散器專用過濾器，專為半導(dǎo)體真空腔體快速放氣場景設(shè)計(jì)。其獨(dú)特的濾材結(jié)構(gòu)，在高效攔截顆粒的同時(shí)，能避免氣體湍流對工藝室環(huán)境的干擾，適配加載互鎖接口等復(fù)雜應(yīng)用;?

氣體限流器：RF系列高純度多孔金屬限流器，可安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線與氣體分配歧管中。當(dāng)遇到氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障時(shí)，能有效防止意外高氣體流量，為設(shè)備與人員安全筑起防線;?

氣體純化器：針對 POU(使用點(diǎn))終端客戶需求研發(fā)的OF系列在線式專用過濾器，通過科學(xué)的材料配比，可深度脫除惰性氣體中的水、氧、一氧化碳、二氧化碳等雜質(zhì)，確保氣體在微電子行業(yè)應(yīng)用中的最終純度一致，穩(wěn)定保障使用點(diǎn)位的氣體潔凈度。?

5、嚴(yán)苛品控：從出廠到應(yīng)用的全程保障?

超純氣體過濾器的性能穩(wěn)定性，離不開嚴(yán)格的質(zhì)量控制體系與清潔程序。恒歌對每一款產(chǎn)品都執(zhí)行全流程品控標(biāo)準(zhǔn)：出廠前需經(jīng)過完備的性能測試、雜質(zhì)檢測與潔凈處理，確保產(chǎn)品在完整性、潔凈度上達(dá)到行業(yè)頂尖水平。從生產(chǎn)到交付，再到后續(xù)運(yùn)維支持，恒歌始終以 “持續(xù)穩(wěn)定的氣體過濾服務(wù)” 為目標(biāo)，助力客戶提升半導(dǎo)體整體制程穩(wěn)定性，降低因氣體雜質(zhì)導(dǎo)致的生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)。?

從核心過濾技術(shù)突破，到場景化方案覆蓋，再到全鏈條能力拓展與嚴(yán)苛品控，恒歌氣體過濾器正以專業(yè)實(shí)力，成為半導(dǎo)體潔凈制造中不可或缺的 “純度守護(hù)者”，為行業(yè)先進(jìn)制程發(fā)展保駕護(hù)航。