高純度多孔金屬限流器_氣體高流量過濾器100%氦氣測試

供貨能力: 每月10000件以上

定制方式: 來圖定制

產(chǎn)地: 廣東深圳

材質(zhì): 316/不銹鋼

交期: 一周

產(chǎn)品詳情

RF系列多孔金屬限流器采用高純316L不銹鋼燒結(jié)技術(shù)制造，適用于高壓、高流量、超高純氣體輸送系統(tǒng)。當(dāng)氣體管線破裂、閥門異?；蛘{(diào)壓器失效時(shí)，它能自動(dòng)限制過量氣體瞬間噴出，有效保護(hù)氣路系統(tǒng)安全，避免工藝中斷或設(shè)備損壞。

?●? 通用于半導(dǎo)體、光電、氫能源、工業(yè)氣體、真空系統(tǒng)等高要求工況

?●?安裝于VCR接頭、壓縮氣體管路、氣體分配歧管中

?●? 支持≤9N(99.9999999%)高純氣體

?●?抗堵塞、無需維護(hù)，可定制不同流量

2. 產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與工作原理

?● ?內(nèi)部為燒結(jié)多孔金屬結(jié)構(gòu)，形成精密氣阻通道

?●?正常運(yùn)行：氣體平穩(wěn)通過，形成層流

?●?管路破裂/瞬時(shí)壓力驟降：氣體迅速通過限流器被限制輸出，保護(hù)后端系統(tǒng)

?●?過濾+限流雙功能，不產(chǎn)生顆粒污染

3. 產(chǎn)品特點(diǎn)

結(jié)構(gòu)緊湊	結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，可直接安裝于VCR 1/4~1/2接口
可定制流量	通過更換限流芯/氣阻配件，可調(diào)節(jié)不同流量（1~5000 sccm）
控制穩(wěn)定	流量控制精準(zhǔn)可靠，適用于穩(wěn)定與突變環(huán)境
高溫高壓可用	適用于 ≤500℃、≤30 MPa 環(huán)境，耐高溫不變形
不堵塞	多孔結(jié)構(gòu)均勻分布，確保氣體層流，不易堵塞
材料安全	316L不銹鋼，顆粒脫落 <0.003 mg/m3，通過100%氨氣泄漏測試
壽命長	燒結(jié)結(jié)構(gòu)無焊點(diǎn)、不老化，壽命長

?4. 應(yīng)用行業(yè)與典型場景

?●??半導(dǎo)體氣體輸送(硅烷、氨氣、氫氣、氬氣)

?●?光伏薄膜沉積、OLED鍍膜設(shè)備

?●?高純氣體鋼瓶壓力調(diào)節(jié)保護(hù)

?●? 氫燃料電池系統(tǒng)安全防泄放

?●? 真空腔體氣體緩釋、排氣系統(tǒng)限流

5. 技術(shù)規(guī)格參數(shù)

濾芯材質(zhì)	316L不銹鋼粉末燒結(jié)	殼體材質(zhì)	316L不銹鋼
流量范圍	0.1sccm~40slpm	最大工作壓差	1500psig
精度	+7.5% Base	可重復(fù)性	±0.1%
最高使用溫度	460℃	氦氣泄漏率	1×10-9cc/min
密封面尺寸	1/4″‘VCR	?	?